സ്പെസിഫിക്കേഷൻ | 99.999% |
ഓക്സിജൻ+ആർഗൺ | ≤1 പിപിഎം |
നൈട്രജൻ | ≤4 പിപിഎം |
ഈർപ്പം (H2O) | ≤3 പിപിഎം |
HF | ≤0.1 പിപിഎം |
CO | ≤0.1 പിപിഎം |
CO2 (CO2) | ≤1 പിപിഎം |
എസ്എഫ്6 | ≤1 പിപിഎം |
ഹാലോകാർബൈനുകൾ | ≤1 പിപിഎം |
ആകെ മാലിന്യങ്ങൾ | ≤10 പിപിഎം |
കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് CF4 എന്ന രാസ സൂത്രവാക്യമുള്ള ഒരു ഹാലോജനേറ്റഡ് ഹൈഡ്രോകാർബണാണ്. ഇതിനെ ഹാലോജനേറ്റഡ് ഹൈഡ്രോകാർബൺ, ഹാലോജനേറ്റഡ് മീഥെയ്ൻ, പെർഫ്ലൂറോകാർബൺ അല്ലെങ്കിൽ ഒരു അജൈവ സംയുക്തം എന്നിങ്ങനെ കണക്കാക്കാം. കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് നിറമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതുമായ ഒരു വാതകമാണ്, വെള്ളത്തിൽ ലയിക്കാത്തതും ബെൻസീൻ, ക്ലോറോഫോം എന്നിവയിൽ ലയിക്കുന്നതുമാണ്. സാധാരണ താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലും സ്ഥിരതയുള്ളതും ശക്തമായ ഓക്സിഡന്റുകൾ, കത്തുന്നതോ കത്തുന്നതോ ആയ വസ്തുക്കൾ എന്നിവ ഒഴിവാക്കുക. ജ്വലനം ചെയ്യാത്ത വാതകം, ഉയർന്ന ചൂടിന് വിധേയമാകുമ്പോൾ കണ്ടെയ്നറിന്റെ ആന്തരിക മർദ്ദം വർദ്ധിക്കും, കൂടാതെ വിള്ളലിനും സ്ഫോടനത്തിനും സാധ്യതയുണ്ട്. ഇത് രാസപരമായി സ്ഥിരതയുള്ളതും തീപിടിക്കാത്തതുമാണ്. ദ്രാവക അമോണിയ-സോഡിയം ലോഹ റിയാജന്റ് മാത്രമേ മുറിയിലെ താപനിലയിൽ പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയൂ. കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് ഹരിതഗൃഹ പ്രഭാവത്തിന് കാരണമാകുന്ന ഒരു വാതകമാണ്. ഇത് വളരെ സ്ഥിരതയുള്ളതാണ്, വളരെക്കാലം അന്തരീക്ഷത്തിൽ നിലനിൽക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വളരെ ശക്തമായ ഒരു ഹരിതഗൃഹ വാതകവുമാണ്. വിവിധ ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് ഒരു ലേസർ വാതകമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഇൻഫ്രാറെഡ് ഡിറ്റക്ടറുകൾക്കുള്ള താഴ്ന്ന താപനില റഫ്രിജറന്റുകൾ, ലായകങ്ങൾ, ലൂബ്രിക്കന്റുകൾ, ഇൻസുലേറ്റിംഗ് വസ്തുക്കൾ, കൂളന്റുകൾ എന്നിവയിൽ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു. മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ ഏറ്റവും കൂടുതൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് വാതകമാണിത്. ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥെയ്ൻ ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ്, ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥെയ്ൻ ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ്, ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ഓക്സിജൻ എന്നിവയുടെ മിശ്രിതമാണിത്. സിലിക്കൺ, സിലിക്കൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്, ഫോസ്ഫോസിലിക്കേറ്റ് ഗ്ലാസ് എന്നിവയിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കാം. ടങ്സ്റ്റൺ, ടങ്സ്റ്റൺ തുടങ്ങിയ നേർത്ത ഫിലിം വസ്തുക്കളുടെ എച്ചിംഗ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതല വൃത്തിയാക്കൽ, സോളാർ സെൽ ഉത്പാദനം, ലേസർ സാങ്കേതികവിദ്യ, കുറഞ്ഞ താപനില റഫ്രിജറേഷൻ, ചോർച്ച പരിശോധന, പ്രിന്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഉൽപാദനത്തിലെ ഡിറ്റർജന്റ് എന്നിവയിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾക്കായി കുറഞ്ഞ താപനില റഫ്രിജറന്റായും പ്ലാസ്മ ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയായും ഉപയോഗിക്കുന്നു. സംഭരണത്തിനുള്ള മുൻകരുതലുകൾ: തണുത്തതും വായുസഞ്ചാരമുള്ളതുമായ ഒരു നോൺ-കമ്പസ്റ്റബിൾ ഗ്യാസ് വെയർഹൗസിൽ സൂക്ഷിക്കുക. തീയും താപ സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്നും അകറ്റി നിർത്തുക. സംഭരണ താപനില 30°C കവിയരുത്. എളുപ്പത്തിൽ (കത്തുന്ന) ജ്വലന വസ്തുക്കളിൽ നിന്നും ഓക്സിഡന്റുകളിൽ നിന്നും ഇത് പ്രത്യേകം സൂക്ഷിക്കണം, കൂടാതെ മിശ്രിത സംഭരണം ഒഴിവാക്കണം. സംഭരണ സ്ഥലത്ത് ചോർച്ച അടിയന്തര ചികിത്സാ ഉപകരണങ്ങൾ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കണം.
① റഫ്രിജറന്റ്:
ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ചിലപ്പോൾ താഴ്ന്ന താപനിലയിലുള്ള ഒരു ശീതീകരണിയായി ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്.
② കൊത്തുപണി:
ഇത് ഇലക്ട്രോണിക്സ് മൈക്രോഫാബ്രിക്കേഷനിൽ മാത്രമായോ അല്ലെങ്കിൽ സിലിക്കൺ, സിലിക്കൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് എന്നിവയ്ക്കുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ചന്റായി ഓക്സിജനുമായി സംയോജിപ്പിച്ചോ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഉൽപ്പന്നം | കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്സിഎഫ്4 | ||
പാക്കേജ് വലുപ്പം | 40 ലിറ്റർ സിലിണ്ടർ | 50 ലിറ്റർ സിലിണ്ടർ | |
മൊത്തം ഭാരം/സിലിണ്ടർ നിറയ്ക്കൽ | 30 കിലോഗ്രാം | 38 കിലോഗ്രാം | |
20' കണ്ടെയ്നറിൽ ക്യൂട്ടി ലോഡ് ചെയ്തു | 250 സൈലുകൾ | 250 സൈലുകൾ | |
ആകെ മൊത്തം ഭാരം | 7.5 ടൺ | 9.5 ടൺ | |
സിലിണ്ടർ ടെയർ ഭാരം | 50 കിലോഗ്രാം | 55 കിലോഗ്രാം | |
വാൽവ് | സിജിഎ 580 |
①ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഏറ്റവും പുതിയ സൗകര്യം;
②ISO സർട്ടിഫിക്കറ്റ് നിർമ്മാതാവ്;
③ വേഗത്തിലുള്ള ഡെലിവറി;
④ ഓരോ ഘട്ടത്തിലും ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണത്തിനുള്ള ഓൺലൈൻ വിശകലന സംവിധാനം;
⑤ നിറയ്ക്കുന്നതിന് മുമ്പ് സിലിണ്ടർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉയർന്ന ആവശ്യകതയും സൂക്ഷ്മമായ പ്രക്രിയയും;