സ്പെസിഫിക്കേഷൻ | 99.999% |
ഓക്സിജൻ+ആർഗോൺ | ≤1ppm |
നൈട്രജൻ | ≤4 ppm |
ഈർപ്പം(H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
ഹാലോകാർബൈൻസ് | ≤1 ppm |
മൊത്തം മാലിന്യങ്ങൾ | ≤10 ppm |
CF4 എന്ന രാസ സൂത്രവാക്യമുള്ള ഹാലൊജനേറ്റഡ് ഹൈഡ്രോകാർബണാണ് കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്. ഇത് ഒരു ഹാലൊജനേറ്റഡ് ഹൈഡ്രോകാർബൺ, ഹാലൊജനേറ്റഡ് മീഥെയ്ൻ, പെർഫ്ലൂറോകാർബൺ അല്ലെങ്കിൽ ഒരു അജൈവ സംയുക്തം ആയി കണക്കാക്കാം. കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്, നിറമില്ലാത്തതും മണമില്ലാത്തതുമായ വാതകമാണ്, വെള്ളത്തിൽ ലയിക്കാത്തതും ബെൻസീനിലും ക്ലോറോഫോമിലും ലയിക്കുന്നതുമാണ്. സാധാരണ താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലും സ്ഥിരത പുലർത്തുക, ശക്തമായ ഓക്സിഡൻറുകൾ, കത്തുന്ന അല്ലെങ്കിൽ കത്തുന്ന വസ്തുക്കൾ എന്നിവ ഒഴിവാക്കുക. കത്താത്ത വാതകം, ഉയർന്ന ചൂടിൽ സമ്പർക്കം പുലർത്തുമ്പോൾ കണ്ടെയ്നറിൻ്റെ ആന്തരിക മർദ്ദം വർദ്ധിക്കും, വിള്ളലിനും പൊട്ടിത്തെറിക്കും അപകടമുണ്ട്. ഇത് രാസപരമായി സ്ഥിരതയുള്ളതും തീപിടിക്കാത്തതുമാണ്. ലിക്വിഡ് അമോണിയ-സോഡിയം ലോഹ റിയാജൻ്റിന് മാത്രമേ ഊഷ്മാവിൽ പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയൂ. ഹരിതഗൃഹ പ്രഭാവത്തിന് കാരണമാകുന്ന വാതകമാണ് കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്. ഇത് വളരെ സ്ഥിരതയുള്ളതാണ്, അന്തരീക്ഷത്തിൽ വളരെക്കാലം നിലനിൽക്കാൻ കഴിയും, വളരെ ശക്തമായ ഒരു ഹരിതഗൃഹ വാതകമാണ്. വിവിധ ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് ഒരു ലേസർ വാതകമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള റഫ്രിജറൻ്റുകൾ, ലായകങ്ങൾ, ലൂബ്രിക്കൻ്റുകൾ, ഇൻസുലേറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ, ഇൻഫ്രാറെഡ് ഡിറ്റക്ടറുകൾക്കുള്ള കൂളൻ്റുകൾ എന്നിവയിൽ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു. മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ ഏറ്റവും കൂടുതൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് വാതകമാണിത്. ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസും ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസും ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഓക്സിജനും ചേർന്ന മിശ്രിതമാണിത്. സിലിക്കൺ, സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്, ഫോസ്ഫോസിലിക്കേറ്റ് ഗ്ലാസ് എന്നിവയിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കാം. ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതല ശുചീകരണം, സോളാർ സെൽ ഉൽപ്പാദനം, ലേസർ സാങ്കേതികവിദ്യ, കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള റഫ്രിജറേഷൻ, ലീക്ക് ഇൻസ്പെക്ഷൻ, പ്രിൻ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഉൽപ്പാദനത്തിൽ ഡിറ്റർജൻ്റ് എന്നിവയിലും ടങ്സ്റ്റൺ, ടങ്സ്റ്റൺ തുടങ്ങിയ നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയലുകളുടെ കൊത്തുപണി വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾക്ക് കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള റഫ്രിജറൻ്റും പ്ലാസ്മ ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയായും ഉപയോഗിക്കുന്നു. സംഭരണത്തിനുള്ള മുൻകരുതലുകൾ: തണുത്തതും വായുസഞ്ചാരമുള്ളതുമായ ജ്വലനം ചെയ്യാത്ത ഗ്യാസ് വെയർഹൗസിൽ സൂക്ഷിക്കുക. തീയിൽ നിന്നും താപ സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്നും അകന്നുനിൽക്കുക. സംഭരണ താപനില 30 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിൽ കൂടരുത്. ഇത് എളുപ്പത്തിൽ (കത്തുന്ന) ജ്വലന വസ്തുക്കളിൽ നിന്നും ഓക്സിഡൻറുകളിൽ നിന്നും പ്രത്യേകം സൂക്ഷിക്കുകയും മിശ്രിത സംഭരണം ഒഴിവാക്കുകയും വേണം. സ്റ്റോറേജ് ഏരിയയിൽ ലീക്കേജ് എമർജൻസി ട്രീറ്റ്മെൻ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ ഉണ്ടായിരിക്കണം.
① റഫ്രിജറൻ്റ്:
ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ചിലപ്പോൾ കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള റഫ്രിജറൻ്റായി ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്.
② എച്ചിംഗ്:
സിലിക്കൺ, സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് എന്നിവയ്ക്കുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ചാൻറായി ഇത് ഇലക്ട്രോണിക്സ് മൈക്രോഫാബ്രിക്കേഷനിൽ മാത്രമോ ഓക്സിജനുമായി സംയോജിപ്പിച്ചോ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഉൽപ്പന്നം | കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ്CF4 | ||
പാക്കേജ് വലിപ്പം | 40 ലിറ്റർ സിലിണ്ടർ | 50 ലിറ്റർ സിലിണ്ടർ | |
മൊത്തം ഭാരം/സൈൽ പൂരിപ്പിക്കൽ | 30 കിലോ | 38 കിലോ | |
QTY 20'കണ്ടെയ്നറിൽ ലോഡുചെയ്തു | 250 സൈലുകൾ | 250 സൈലുകൾ | |
ആകെ മൊത്തം ഭാരം | 7.5 ടൺ | 9.5 ടൺ | |
സിലിണ്ടർ ടാർ ഭാരം | 50 കിലോ | 55 കിലോ | |
വാൽവ് | CGA 580 |
①ഉയർന്ന ശുദ്ധി, ഏറ്റവും പുതിയ സൗകര്യം;
②ISO സർട്ടിഫിക്കറ്റ് നിർമ്മാതാവ്;
③വേഗത്തിലുള്ള ഡെലിവറി;
④ഓൺ-ലൈൻ വിശകലന സംവിധാനം ഓരോ ഘട്ടത്തിലും ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണത്തിനായി;
⑤സിലിണ്ടർ പൂരിപ്പിക്കുന്നതിന് മുമ്പ് കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉയർന്ന ആവശ്യകതയും സൂക്ഷ്മമായ പ്രക്രിയയും;