അർഥം വ്യവസായത്തിന്റെ ജീവൻപരമാണ് അൾട്രാ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി (യുഎച്ച്പി) വാതകങ്ങൾ. ആഗോള വിതരണ ശൃംഖലകളെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്നതും ആഗോള-ഉയർന്ന പ്രഷർ വാതകത്തിന്റെ വിലയും, പുതിയ അർദ്ധവാസ രൂപകൽപ്പന, നിർമ്മാണ രീതികൾ എന്നിവ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനാൽ, മലിനീകരണ നിയന്ത്രണത്തിന്റെ അളവ് വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്ന ആഗോള വിതരണ ചങ്ങലകൾ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്നു. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാതാക്കൾക്കായി, എല്ലായ്പ്പോഴും എന്നതിനേക്കാൾ ഉഹ്പ് വാതകത്തിന്റെ വിശുദ്ധി പ്രധാനമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ.

ആധുനിക അർദ്ധചാലക നിർമാണത്തിൽ അൾട്രാ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി (യുഎച്ച്പി) വാതകങ്ങൾ തികച്ചും വിമർശിക്കുന്നു

ഉഹ്പ് വാതകത്തിന്റെ പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകളിലൊന്നാണ്: അർദ്ധചാലക ഘടകങ്ങൾക്ക് ചുറ്റും ഒരു സംരക്ഷണ അന്തരീക്ഷം നൽകാൻ യുഎച്ച്പി വാതകം ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതുവഴി അന്തരീക്ഷത്തിലെ ഈർപ്പം, ഓക്സിജൻ, മറ്റ് മലിനീകരണം എന്നിവയുടെ ദോഷകരമായ ഫലങ്ങളിൽ നിന്ന് അവരെ സംരക്ഷിക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ വാതകങ്ങൾ നടത്തുന്ന വ്യത്യസ്തമായ നിരവധി പ്രവർത്തനങ്ങളിൽ ഒന്ന് മാത്രമാണ് നിഷ്പരിയവൽക്കരണം. പ്രാഥമിക പ്ലാസ്മ വാതകങ്ങളിൽ നിന്ന് ചെറുതാക്കിക്കൊണ്ട് ഉപയോഗിക്കുന്ന റിയാക്ടീവ് വാതകങ്ങൾ മുതൽ, അൾട്രാ-ഉയർന്ന പ്രഷർ വാതകങ്ങൾ എന്നിവ വിവിധ ആവശ്യങ്ങൾക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അത് അർദ്ധചാലക വിതരണ ശൃംഖലയിലുടനീളം അത്യാവശ്യമാണ്.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ "കോർ" വാതകങ്ങളിൽ ചിലത് ഉൾപ്പെടുന്നുനൈട്രജൻ(പൊതുവായ വൃത്തിയാക്കലും നിഷ്ക്രിയ വാതകമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു),അർഗോൺ(എട്ടിംഗ്, ഡിപോസിഷൻ പ്രതികരണങ്ങളിൽ പ്രാഥമിക പ്ലാസ്മ വാതകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു),ഹീലിയം(പ്രത്യേക ചൂട്-ട്രാൻസ്ഫർ പ്രോപ്പർട്ടികൾ ഉള്ള ഒരു നിഷ്ക്രിയ വാതകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു) കൂടാതെഹൈഡ്രജൻ(അനെലിംഗ്, ഡിപോസിഷൻ, എപ്പിറ്റിംഗ്, പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് എന്നിവയിൽ ഒന്നിലധികം വേഷങ്ങൾ ചെയ്യുന്നു).

അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യ വികസിക്കുകയും മാറ്റുകയും ചെയ്തതിനാൽ ഉൽപാദന പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ നടത്തുക. ഇന്ന്, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ സസ്യങ്ങൾ മാന്യമായ വാതകങ്ങളിൽ നിന്ന് വിശാലമായ വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നുക്രിപ്റ്റൺകൂടെനിയോൺനൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് (എൻഎഫ് 3), ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (ഡബ്ല്യുഎഫ് 6) എന്നിവ പോലുള്ള റിയാക്ടീവ് ഇനങ്ങളിലേക്ക്.

വിശുദ്ധിയുടെ ആവശ്യം വർദ്ധിക്കുന്നു

ആദ്യത്തെ കൊമേഴ്സ്യൽ മൈക്രോചിപ്പ് കണ്ടുപിടുത്തം മുതൽ ലോകം അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രകടനത്തിൽ നടക്കുന്ന പ്രാകാവകരമായ വർധനവിന് സമീപനത്തിന് സാക്ഷ്യം വഹിച്ചു. കഴിഞ്ഞ അഞ്ച് വർഷമായി, ഇത്തരത്തിലുള്ള പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള സുപ്രസ്തമായ ഒരു മാർഗ്ഗം "സൈസ് സ്കെയിലിംഗ്" വഴിയാണ്: കൂടുതൽ ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ ഒരു പ്രത്യേക ഇടത്തിലേക്ക് ചൂഷണം ചെയ്യുന്നതിന് നിലവിലുള്ള ചിപ്പ് ആർക്കിടെക്ചറുകളുടെ പ്രധാന മാർഗ്ഗങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നു. ഇതിനുപുറമെ, പുതിയ ചിപ്പ് ആർക്കിടെക്ചറുകളുടെ വികസനം, കട്ടിംഗ് എഡ്ജ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഉപയോഗം ഉപകരണ പ്രകടനത്തിൽ കുതിച്ചുയരുകയാണ്.

ഇന്ന്, കട്ടിംഗ് എഡ്ജ് അർദ്ധചാലകരുടെ നിർണായക അളവുകൾ ഇപ്പോൾ വളരെ ചെറുതാണ്, ഉപകരണ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് വലുപ്പ സ്കെയിലിംഗ് മേലിൽ ഒരു പ്രായോഗിക മാർഗമല്ല. പകരം, അർദ്ധചാലക ഗവേഷകർ നോവൽ മെറ്റീരിയലുകളുടെയും 3D ചിപ്പ് ആർക്കിടെക്ചറുകളുടെയും രൂപത്തിലുള്ള പരിഹാരങ്ങൾക്കായി തിരയുന്നു.

തീറ്റല്ലാത്ത പതിറ്റാണ്ടുകളുടെ അർത്ഥം ഇന്നത്തെ അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ പഴയ മൈക്രോചിപ്പുകളേക്കാൾ വളരെ ശക്തമാണ് - പക്ഷേ അവയും കൂടുതൽ ദുർബലമാണ്. 300 എംഎം വേഫർ ഫാബ്രിക്കേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വരവ് അർദ്ധചാലക നിർമാണത്തിന് ആവശ്യമായ അശുദ്ധി നിയന്ത്രണത്തിന്റെ നില വർദ്ധിപ്പിച്ചു. ഒരു ഉൽപാദന പ്രക്രിയയിൽ (പ്രത്യേകിച്ച് അപൂർവ അല്ലെങ്കിൽ നിഷ്ക്രിയ വാതകങ്ങൾ പോലും) ദുരന്ത ഉപകരണങ്ങളുടെ പരാജയത്തിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം - അതിനാൽ വാതക വിശുദ്ധി എന്നത്തേക്കാളും പ്രധാനമാണ്.

ഒരു സാധാരണ അർദ്ധചാലക ഫാബ്രിക്കേഷൻ പ്ലാന്റിനായി, സിലിക്കണിന് ശേഷമുള്ള ഏറ്റവും വലിയ മെറ്റീരിയൽ ചെലവാണ് ഇതിനകം തന്നെ. അർദ്ധചാലകങ്ങൾ പുതിയ ഉയരങ്ങളിലേക്ക് ആവശ്യാനുസരണം മാത്രമേ ഈ ചെലവാകുന്നത് പ്രതീക്ഷിക്കുകയുംള്ളൂ. യൂറോപ്പിലെ സംഭവങ്ങൾ തീവ്ര-ഉയർന്ന മർദ്ദം പ്രകൃതി വാതക മാർക്കറ്റിന് അധിക തടസ്സമുണ്ടാക്കി. ലോകത്തിലെ ഏറ്റവും വലിയ ഉയർന്ന കയറ്റുമതിക്കാരിൽ ഒരാളാണ് ഉക്രെയ്ൻനിയോൺഅടയാളങ്ങൾ; റഷ്യയുടെ ആക്രമണം അർത്ഥമാക്കുന്നത് അപൂർവ വാതകത്തിന്റെ വിതരണത്തെ നിയന്ത്രിക്കുന്നു. ഇതുപോലുള്ള മറ്റ് ശ്രേഷ്ഠമായ വാതകങ്ങളുടെ കുറവും ഉയർന്ന വിലയുംക്രിപ്റ്റൺകൂടെസെനോൺ.