ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡ് (BCl3)സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ ഡ്രൈ എച്ചിംഗ്, കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (സിവിഡി) പ്രക്രിയകളിൽ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു അജൈവ സംയുക്തമാണ്. മുറിയിലെ താപനിലയിൽ ശക്തമായ ദുർഗന്ധമുള്ള നിറമില്ലാത്ത വാതകമാണിത്, ഹൈഡ്രോലൈസ് ചെയ്ത് ഹൈഡ്രോക്ലോറിക് ആസിഡും ബോറിക് ആസിഡും ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നതിനാൽ ഈർപ്പമുള്ള വായുവിനോട് ഇത് സംവേദനക്ഷമതയുള്ളതാണ്.

ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡിന്റെ പ്രയോഗങ്ങൾ

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ,ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡ്അലൂമിനിയത്തിന്റെ ഡ്രൈ എച്ചിംഗിനും സിലിക്കൺ വേഫറുകളിൽ പി-ടൈപ്പ് മേഖലകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു ഡോപന്റായും ഇത് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു. GaAs, Si, AlN തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കൾ കൊത്തിവയ്ക്കാനും ചില പ്രത്യേക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ബോറോൺ സ്രോതസ്സായും ഇത് ഉപയോഗിക്കാം. കൂടാതെ, ലോഹ സംസ്കരണം, ഗ്ലാസ് വ്യവസായം, രാസ വിശകലനം, ലബോറട്ടറി ഗവേഷണം എന്നിവയിൽ ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡ് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡിന്റെ സുരക്ഷ

ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡ്ഇത് നശിപ്പിക്കുന്നതും വിഷാംശമുള്ളതുമാണ്, മാത്രമല്ല കണ്ണുകൾക്കും ചർമ്മത്തിനും ഗുരുതരമായ നാശമുണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും. ഇത് ഈർപ്പമുള്ള വായുവിൽ ജലവിശ്ലേഷണം നടത്തി വിഷാംശമുള്ള ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ് വാതകം പുറത്തുവിടുന്നു. അതിനാൽ, കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ ഉചിതമായ സുരക്ഷാ നടപടികൾ സ്വീകരിക്കേണ്ടതുണ്ട്.ബോറോൺ ട്രൈക്ലോറൈഡ്സംരക്ഷണ വസ്ത്രങ്ങൾ, കണ്ണടകൾ, ശ്വസന സംരക്ഷണ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവ ധരിക്കുക, നന്നായി വായുസഞ്ചാരമുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ പ്രവർത്തിക്കുക എന്നിവയുൾപ്പെടെ.