ലേസർ വാതകം

ഇലക്‌ട്രോണിക് വ്യവസായത്തിൽ ലേസർ അനീലിംഗിനും ലിത്തോഗ്രാഫി വാതകത്തിനുമാണ് ലേസർ വാതകം പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്. മൊബൈൽ ഫോൺ സ്‌ക്രീനുകളുടെ നവീകരണത്തിൻ്റെയും ആപ്ലിക്കേഷൻ ഏരിയകളുടെ വിപുലീകരണത്തിൻ്റെയും പ്രയോജനം, കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള പോളിസിലിക്കൺ മാർക്കറ്റിൻ്റെ സ്കെയിൽ കൂടുതൽ വിപുലീകരിക്കും, കൂടാതെ ലേസർ അനീലിംഗ് പ്രക്രിയ ടിഎഫ്‌ടികളുടെ പ്രകടനം ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തി. അർദ്ധചാലകങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനായി ആർഎഫ് എക്സൈമർ ലേസറിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന നിയോൺ, ഫ്ലൂറിൻ, ആർഗോൺ വാതകങ്ങളിൽ, ലേസർ വാതക മിശ്രിതത്തിൻ്റെ 96% ത്തിലധികം നിയോണാണ്. അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പരിഷ്‌ക്കരണത്തോടെ, എക്‌സൈമർ ലേസറുകളുടെ ഉപയോഗം വർദ്ധിച്ചു, ഇരട്ട എക്‌സ്‌പോഷർ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ആമുഖം ആർഎഫ് എക്‌സൈമർ ലേസറുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്ന നിയോൺ വാതകത്തിൻ്റെ ആവശ്യകതയിൽ കുത്തനെ വർദ്ധനവിന് കാരണമായി. ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങളുടെ പ്രാദേശികവൽക്കരണത്തെ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, ആഭ്യന്തര നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് ഭാവിയിൽ മികച്ച വിപണി വളർച്ചാ ഇടം ലഭിക്കും.

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ പ്രധാന ഉപകരണമാണ് ലിത്തോഗ്രാഫി യന്ത്രം. ലിത്തോഗ്രാഫി ട്രാൻസിസ്റ്ററുകളുടെ വലുപ്പം നിർവചിക്കുന്നു. ലിത്തോഗ്രാഫി വ്യവസായ ശൃംഖലയുടെ ഏകോപിത വികസനം ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ്റെ മുന്നേറ്റത്തിൻ്റെ താക്കോലാണ്. ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ്, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഗ്യാസ്, ഫോട്ടോമാസ്ക്, കോട്ടിംഗ്, ഡെവലപ്പിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ തുടങ്ങിയ പൊരുത്തപ്പെടുന്ന അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളിൽ ഉയർന്ന സാങ്കേതിക ഉള്ളടക്കമുണ്ട്. ലിത്തോഗ്രാഫി യന്ത്രം ആഴത്തിലുള്ള അൾട്രാവയലറ്റ് ലേസർ സൃഷ്ടിക്കുന്ന വാതകമാണ് ലിത്തോഗ്രാഫി ഗ്യാസ്. വ്യത്യസ്ത ലിത്തോഗ്രാഫി വാതകങ്ങൾക്ക് വ്യത്യസ്ത തരംഗദൈർഘ്യമുള്ള പ്രകാശ സ്രോതസ്സുകൾ ഉത്പാദിപ്പിക്കാൻ കഴിയും, അവയുടെ തരംഗദൈർഘ്യം ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ്റെ കോറുകളിൽ ഒന്നായ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ്റെ റെസല്യൂഷനെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. 2020 ൽ, ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളുടെ മൊത്തം ആഗോള വിൽപ്പന 413 യൂണിറ്റായിരിക്കും, അതിൽ ASML വിൽപ്പന 258 യൂണിറ്റുകൾ 62%, കാനൻ വിൽപ്പന 122 യൂണിറ്റുകൾ 30%, നിക്കോൺ വിൽപ്പന 33 യൂണിറ്റുകൾ 8% എന്നിങ്ങനെയാണ്.