ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്രൂക്ഷഗന്ധമുള്ള നിറമില്ലാത്ത വാതകമാണ്. ഇതിന്റെ ജലീയ ലായനിയെ ഹൈഡ്രോക്ലോറിക് ആസിഡ് എന്നും ഹൈഡ്രോക്ലോറിക് ആസിഡ് എന്നും വിളിക്കുന്നു. ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ് വെള്ളത്തിൽ വളരെ ലയിക്കുന്നതാണ്. 0°C ൽ, ഒരു വോള്യം വെള്ളത്തിന് ഏകദേശം 500 വോള്യം ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ് ലയിപ്പിക്കാൻ കഴിയും.

ഇതിന് ഇനിപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളും സവിശേഷതകളും ഉണ്ട്:

1. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി

ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡിന്റെ പരിശുദ്ധിഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്വളരെ ഉയർന്നതാണ്, സാധാരണയായി ppm അല്ലെങ്കിൽ താഴ്ന്ന തലത്തിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ മാലിന്യങ്ങൾ ചേർക്കുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ.

2. ജഡത്വം

ഇത് രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമായ ഒരു വാതകമാണ്, മറ്റ് പല വസ്തുക്കളുമായും പ്രതിപ്രവർത്തിക്കില്ല, അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെയും ഉപകരണങ്ങളുടെയും മലിനീകരണം തടയുന്നതിന് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

3. ഉയർന്ന സ്ഥിരത

ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ്ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്വിശ്വസനീയമായ അർദ്ധചാലക പ്രോസസ്സിംഗ് ഉറപ്പാക്കാൻ സാധാരണയായി സ്ഥിരതയുള്ള രസതന്ത്രം ഉണ്ട്.

സെമികണ്ടക്ടർ സംസ്കരണത്തിൽ, ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡിന്റെ പ്രധാന പ്രയോഗങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

1. ഉപരിതല വൃത്തിയാക്കലും തയ്യാറാക്കലും

കാര്യക്ഷമമായ ഒരു ഉപരിതല ക്ലീനർ എന്ന നിലയിൽ, ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ്ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയുടെയോ ഫിലിമിന്റെയോ ഗുണനിലവാരവും പരിശുദ്ധിയും ഉറപ്പാക്കാൻ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് ഓക്സൈഡുകളും മാലിന്യങ്ങളും നീക്കം ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

2.എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചാ സഹായം

എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പ്രക്രിയയിൽ ഒരു ഉപരിതല ചികിത്സാ ഏജന്റായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്, എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ലാറ്റിസ് പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ലാറ്റിസ് വൈകല്യങ്ങളുടെ രൂപീകരണം കുറയ്ക്കുന്നതിനും സഹായിക്കുന്നു.

3. അടിവസ്ത്ര പ്രീട്രീറ്റ്മെന്റ്

സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് മുമ്പ്, ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ്ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിക്കും അടിവസ്ത്രത്തിനും ഇടയിലുള്ള അഡീഷൻ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള അടിത്തറ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തെ ചികിത്സിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കാം.

4. ഡിപ്പോസിഷൻ ഓക്സിലറി ഏജന്റ്

കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) അല്ലെങ്കിൽ ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (PVD) പ്രക്രിയയിൽ, സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കളുടെ ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിൽ പങ്കെടുക്കുന്നതിന് ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ് ഒരു ഗ്യാസ് ഫേസ് ട്രാൻസ്ഫർ മീഡിയമായി ഉപയോഗിക്കാം.

5. ഗ്യാസ്-ഫേസ് ട്രാൻസ്ഫർ ഏജന്റ്

ഒരു വാതക-ഘട്ട കൈമാറ്റ ഏജന്റ് എന്ന നിലയിൽ, പദാർത്ഥത്തിന്റെ നിക്ഷേപ നിരക്കും ഏകീകൃതതയും ക്രമീകരിക്കാൻ സഹായിക്കുന്നതിന് മറ്റ് വാതക മുൻഗാമികളെ പ്രതിപ്രവർത്തന അറയിലേക്ക് അവതരിപ്പിക്കുന്നു.

ഈ സവിശേഷതകൾ ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് ഉണ്ടാക്കുന്നുഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്സെമികണ്ടക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യയിലെ ഒരു പ്രധാന പ്രോസസ്സിംഗ് ഏജന്റ്, അന്തിമ ഉപകരണത്തിന്റെ പ്രകടനത്തിലും വിശ്വാസ്യതയിലും ഇത് ഒരു പ്രധാന സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ സംസ്കരണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനു പുറമേ, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വസ്തുക്കളുടെ തയ്യാറാക്കൽ, ഇന്ധന സെല്ലുകൾ, സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കളുടെ വളർച്ച, നീരാവി ഘട്ട ലിത്തോഗ്രാഫി, മെറ്റീരിയൽ വിശകലനം, രാസ ഗവേഷണം എന്നിവയുൾപ്പെടെ മറ്റ് മേഖലകളിലും ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡിന് വിവിധ ഉപയോഗങ്ങൾ കണ്ടെത്താൻ കഴിയും.

പൊതുവേ, ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ്ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ്അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന് പുറത്ത് വിപുലമായ പ്രയോഗങ്ങളുള്ള ഒരു വൈവിധ്യമാർന്ന, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതകമാണ്.