താരതമ്യേന നൂതന ഉൽപാദന പ്രക്രിയകളുള്ള അർദ്ധചാലക വേഫർ ഫ stentry ണ്ടുകളുടെ ഉൽപാദന പ്രക്രിയയിൽ, ഏകദേശം 50 വ്യത്യസ്ത തരം വാതകങ്ങൾ ആവശ്യമാണ്. വാതകങ്ങൾ സാധാരണയായി ബൾക്ക് വാതകങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നുപ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ.

മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സുകളിലും അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങളിലും വാതകങ്ങൾ പ്രയോഗിക്കുന്നത് എല്ലായ്പ്പോഴും അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകളിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിച്ചിട്ടുണ്ട്, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധവിരാമം പ്രോസസ്സുകൾ വിവിധ വ്യവസായങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉൽസി, ടിഎഫ്ടി-എൽസിഡി മുതൽ നിലവിലെ മൈക്രോ-ഇലക്ട്രോമെചാനിക്കൽ വരെ, ഡ്രൈവ് ആംഗിംഗ്, ഓക്സിഡേഷൻ, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ, നേർത്ത ഫിലിം ഡിപോസിഷൻ മുതലായവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ഉൽപ്പന്ന നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളായി അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകളായി തിരഞ്ഞെടുക്കപ്പെടുന്നു.

ഉദാഹരണത്തിന്, ചിപ്പുകൾ മണൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണെന്ന് പലർക്കും അറിയാം, പക്ഷേ ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന്റെ മുഴുവൻ പ്രക്രിയയും നോക്കുന്നു, ഫോട്ടോസ്ട്രിസ്റ്റ്, മിനുക്കിക്കൊണ്ടിരിക്കുന്ന ദ്രാവകം, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ, പ്രത്യേക വാതകം മുതലായവ. ബാക്ക്-എൻഡ് പാക്കേജിംഗിനും വിവിധ വസ്തുക്കളുടെ അളവ് മുതലായവയും ആവശ്യമാണ്. സിലിക്കൺ വേഫറുകൾക്ക് ശേഷം അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ചെലവുകളിൽ രണ്ടാമത്തെ വലിയ വാതകങ്ങൾ ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ, തുടർന്ന് മാസ്കുകളും ഫോട്ടോറിസിസ്റ്റുകളും.

വാതകത്തിന്റെ വിശുദ്ധിക്ക് ഘടക പ്രകടനത്തിലും ഉൽപ്പന്ന വിളവെടുപ്പിലും നിർണ്ണായക സ്വാധീനം ഉണ്ട്, ഗ്യാസ് വിതരണത്തിന്റെ സുരക്ഷ ഉദ്യോഗസ്ഥരുടെ ആരോഗ്യവും ഫാക്ടറി പ്രവർത്തനത്തിന്റെ സുരക്ഷയും ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. പ്രൈസ് ലൈനിലും ഉദ്യോഗസ്ഥരോടും വാതകത്തിന്റെ വിശുദ്ധിക്ക് ഇത്ര വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്? ഇതൊരു അതിശയോക്തിയല്ല, മറിച്ച് വാതകത്തിന്റെ അപകടകരമായ സ്വഭാവസവിശേഷതകളാൽ നിർണ്ണയിക്കപ്പെടുന്നു.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ സാധാരണ വാതകങ്ങളുടെ വർഗ്ഗീകരണം

സാധാരണ വാതകം

സാധാരണ വാതകത്തെ ബൾക്ക് ഗ്യാസ് എന്നും വിളിക്കുന്നു: ഇത് 5n ൽ കുറവുള്ള പരിശുദ്ധി ആവശ്യമുള്ള വ്യവസായ വാതകത്തെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. വ്യത്യസ്ത തയ്യാറെടുപ്പ് രീതികൾ അനുസരിച്ച് ഇത് എയർ വേർപിരിയൽ വാതകമായും സിന്തറ്റിക് വാതകമായും തിരിക്കാം. ഹൈഡ്രജൻ (എച്ച് 2), നൈട്രജൻ (എൻ 2), ഓക്സിജൻ (O2), ആർഗോൺ (A2), തുടങ്ങിയവ;

പ്രത്യേക വാതകം

പ്രത്യേക ഫീൽഡുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വ്യാവസായിക വാതകത്തെ സ്പെഷ്യാലിറ്റി ഗ്യാസ് സൂചിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ പരിശുദ്ധി, വൈവിധ്യമാർന്ന, ഗുണങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്കായി പ്രത്യേക ആവശ്യകതകളുണ്ട്. പധാനമായിSih4, പിഎച്ച് 3, B2H6, A8H3,എച്ച്എൽ, CF4,NH3, POCL3, Sih2cl2, Sihcl3,NH3, Bcl3, സിഫ് 4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HBR,Sf6… ഇത്യാദി.

സ്പൈഷ്യൽ വാതകങ്ങളുടെ തരങ്ങൾ

പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ തരങ്ങൾ: നശിപ്പിക്കുക, വിഷമം, കത്തുന്ന, ജ്വലനം, ജ്വലനം, ജ്വലനം മുതലായവ.
സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളെ ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ തരംതിരിക്കുന്നു:
(i) നശിപ്പിക്കുക / വിഷാംശം:എച്ച്എൽ, ബിഎഫ് 3, ഡബ്ല്യുഎഫ് 6, എച്ച്ബിആർ, സിഹ് 22, എൻഎച്ച് 3, പിഎച്ച് 3, സിഎൽ 2,Bcl3...
(ii) കത്തുന്ന: എച്ച് 2,Ch4,Sih4, പിഎച്ച് 3, ആഷ് 3, സിഹി 22, സിഎച്ച് 2, ch2f2, ch3f, കോ ...
(iii) ജ്വലനീയമായ: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) നിഷ്ക്രിയ: N2,Cf4, C2F6,C4F8,Sf6, CO2,Ne,Kr, അവൻ ...

അർദ്ധചാലക ചിപ്പ് മാനുഫാക്ചറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, ഓക്സീകരണം, വ്യാപനം, നിക്ഷേപം, കുത്തിവയ്പ്പ്, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, മറ്റ് പ്രോസസ്സുകൾ എന്നിവയിൽ ഏകദേശം 50 വ്യത്യസ്ത തരം പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, മൊത്തം പ്രക്രിയ നൂറുകണക്കിന് കവിയുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, പിഎച്ച് 3, ആഷ് 3 എന്നിവ ഫോസ്ഫറസ്, ആഴ്സനിക് ഉറവിടങ്ങളായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, എഫ്സി 4, എൻഎച്ച് 3, എസ്.ആർ.ബി.ഇ.

മുകളിലുള്ള വശങ്ങളിൽ നിന്ന്, പല അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളും മനുഷ്യ ശരീരത്തിന് ഹാനികരമാണെന്ന് നമുക്ക് മനസ്സിലാക്കാം. പ്രത്യേകിച്ചും, SIH4 പോലുള്ള വാതകങ്ങൾ സ്വയം ഇറേണ്ടികളാണ്. അവർ ചോർന്നുപോകുന്നിടത്തോളം കാലം, അവർ വായുവിലെ ഓക്സിജനുമായി അക്രമാസക്തമായി പ്രതികരിക്കുകയും കത്തിക്കാൻ തുടങ്ങുകയും ചെയ്യും; ആഷ് 3 വളരെ വിഷാംശം. ഏതെങ്കിലും ചെറിയ ചോർച്ച ആളുകൾ ജീവിതത്തിന് ദോഷം വരുത്തേണ്ടതുണ്ട്, അതിനാൽ പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ ഉപയോഗത്തിനായി നിയന്ത്രണ സിസ്റ്റം രൂപകൽപ്പനയുടെ ആവശ്യകതകൾ പ്രത്യേകിച്ചും ഉയർന്നതാണ്.

അർദ്ധചാലകർക്ക് "മൂന്ന് ഡിഗ്രി" ലഭിക്കാൻ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ ആവശ്യമാണ്

വാതക വിശുദ്ധി

വാതകത്തിലെ അശുദ്ധി അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ഉള്ളടക്കം സാധാരണയായി 99.9999% പോലുള്ള വാതക വിശുദ്ധിയുടെ ശതമാനമായി പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു. സാധാരണയായി പറഞ്ഞാൽ, ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ വാതകങ്ങൾക്കായുള്ള പരിശുദ്ധിയുടെ ആവശ്യകത 5n-6n ആയി എത്തുന്നു, മാത്രമല്ല, അശുദ്ധിയുടെ അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ അനുപാത പിപിഎമ്മിന്റെയും (ഒരു ദശലക്ഷത്തിലധികം) പിപിബി (ഒരു ബില്യൺ ഭാഗം), പിപി.പി. പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ വിശുദ്ധി, ഗുണനിലവാര ഉറപ്പാണ് ഇലക്ട്രോണിക് അർദ്ധചാലക മേഖലയ്ക്ക് ഏറ്റവും കൂടുതൽ ആവശ്യകതകൾ ഉള്ളത്, ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ വിശുദ്ധി സാധാരണയായി 6n നേക്കാൾ കൂടുതലാണ്.

വരള്ച്ച

വാതകത്തിലെ ട്രെയ്സ്റ്റിന്റെ അല്ലെങ്കിൽ നനവ്, നനവ് എന്നിവയുടെ ഉള്ളടക്കം സാധാരണയായി മഞ്ഞുവീഴ്ചയിൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നത് അന്തരീക്ഷ മഞ്ഞുവീഴ്ച -70.

ശുചിതം

വാതകത്തിലെ മലിനീകരണ കണങ്ങളുടെ എണ്ണം, കണികയുടെ കണങ്ങളുള്ള കണികകൾ, എത്ര കണങ്ങളിൽസ് / എം 3 എന്നിവയിൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു. കംപ്രസ്സുചെയ്ത വായുവിനായി, ഇത് സാധാരണയായി ഒഴികഴിവുള്ള സോളിഡ് അവശിഷ്ടങ്ങളിൽ പ്രകടിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, അതിൽ എണ്ണയുടെ അളവ് ഉൾപ്പെടുന്നു.