ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസിന്റെ ആഭ്യന്തര പകര പദ്ധതി സമഗ്രമായ രീതിയിൽ ത്വരിതപ്പെടുത്തിയിരിക്കുന്നു!

2018-ൽ, ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾക്കായുള്ള ആഗോള ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ് വിപണി 4.512 ബില്യൺ യുഎസ് ഡോളറിലെത്തി, ഇത് വർഷം തോറും 16% വർദ്ധനവാണ്. അർദ്ധചാലകങ്ങൾക്കായുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് വ്യവസായത്തിന്റെ ഉയർന്ന വളർച്ചാ നിരക്കും വലിയ വിപണി വലുപ്പവും ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് ആഭ്യന്തര പകരക്കാരന്റെ പദ്ധതിയെ ത്വരിതപ്പെടുത്തി!

ഇലക്ട്രോൺ വാതകം എന്താണ്?

സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, ലൈറ്റ്-എമിറ്റിംഗ് ഡയോഡുകൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ, മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന അടിസ്ഥാന ഉറവിട വസ്തുവാണ് ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ്, കൂടാതെ ക്ലീനിംഗ്, എച്ചിംഗ്, ഫിലിം രൂപീകരണം, ഡോപ്പിംഗ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇലക്ട്രോണിക് വാതകത്തിന്റെ പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷൻ മേഖലകളിൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായം, സോളാർ സെല്ലുകൾ, മൊബൈൽ ആശയവിനിമയങ്ങൾ, കാർ നാവിഗേഷൻ, കാർ ഓഡിയോ, വീഡിയോ സംവിധാനങ്ങൾ, എയ്‌റോസ്‌പേസ്, സൈനിക വ്യവസായം, മറ്റ് നിരവധി മേഖലകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ വാതകത്തെ അതിന്റെ സ്വന്തം രാസഘടന അനുസരിച്ച് ഏഴ് വിഭാഗങ്ങളായി തിരിക്കാം: സിലിക്കൺ, ആർസെനിക്, ഫോസ്ഫറസ്, ബോറോൺ, മെറ്റൽ ഹൈഡ്രൈഡ്, ഹാലൈഡ്, മെറ്റൽ ആൽകോക്സൈഡ്. ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിലെ വ്യത്യസ്ത പ്രയോഗ രീതികൾ അനുസരിച്ച്, ഇതിനെ ഡോപ്പിംഗ് ഗ്യാസ്, എപ്പിറ്റാക്സി ഗ്യാസ്, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ ഗ്യാസ്, ലൈറ്റ്-എമിറ്റിംഗ് ഡയോഡ് ഗ്യാസ്, എച്ചിംഗ് ഗ്യാസ്, കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ ഗ്യാസ്, ബാലൻസ് ഗ്യാസ് എന്നിങ്ങനെ തിരിക്കാം. സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ 110-ലധികം യൂണിറ്റ് സ്പെഷ്യൽ വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതിൽ 30-ലധികം സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

സാധാരണയായി, സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന വ്യവസായം വാതകങ്ങളെ രണ്ട് തരങ്ങളായി വിഭജിക്കുന്നു: സാധാരണ വാതകങ്ങൾ, പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ. അവയിൽ, സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകം ഒരു കേന്ദ്രീകൃത വിതരണത്തെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു കൂടാതെ N2, H2, O2, Ar, He, മുതലായവ പോലുള്ള ധാരാളം വാതകം ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രത്യേക വാതകം എന്നത് സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന എക്സ്റ്റൻഷൻ, അയോൺ ഇഞ്ചക്ഷൻ, ബ്ലെൻഡിംഗ്, വാഷിംഗ്, മാസ്ക് രൂപീകരണം തുടങ്ങിയ ചില രാസ വാതകങ്ങളെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു, ഇതിനെയാണ് നമ്മൾ ഇപ്പോൾ ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് എന്ന് വിളിക്കുന്നത്, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, മുതലായവ.

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ മുഴുവൻ ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയയിലും, ചിപ്പ് വളർച്ച മുതൽ അന്തിമ ഉപകരണ പാക്കേജിംഗ് വരെ, മിക്കവാറും എല്ലാ ലിങ്കുകളും ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ്, ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകത്തിന്റെ വൈവിധ്യം, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ആവശ്യകതകൾ എന്നിവയിൽ നിന്ന് വേർതിരിക്കാനാവാത്തതാണ്, അതിനാൽ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകത്തിൽ സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കൾ ഉണ്ട്. "ഭക്ഷണം".

സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, ഡിസ്പ്ലേ പാനലുകൾ തുടങ്ങിയ ചൈനയുടെ പ്രധാന ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെ പുതിയ ഉൽപ്പാദന ശേഷി വർദ്ധിച്ചിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ഇലക്ട്രോണിക് കെമിക്കൽ വസ്തുക്കളുടെ ഇറക്കുമതിക്ക് പകരം വയ്ക്കുന്നതിനുള്ള ശക്തമായ ആവശ്യവുമുണ്ട്. സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുടെ സ്ഥാനം കൂടുതൽ പ്രാധാന്യമർഹിക്കുന്നു. ആഭ്യന്തര ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ് വ്യവസായം ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വളർച്ചയ്ക്ക് കാരണമാകും.

ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസിന് പരിശുദ്ധിക്ക് വളരെ ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുണ്ട്, കാരണം പരിശുദ്ധി ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നില്ലെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസിലെ ജലബാഷ്പം, ഓക്സിജൻ തുടങ്ങിയ അശുദ്ധി ഗ്രൂപ്പുകൾ അർദ്ധചാലകത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ എളുപ്പത്തിൽ ഓക്സൈഡ് ഫിലിം ഉണ്ടാക്കും, ഇത് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ സേവന ജീവിതത്തെ ബാധിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസിൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന മാലിന്യങ്ങളുടെ കണികകൾ അർദ്ധചാലക ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടുകൾക്കും സർക്യൂട്ട് നാശത്തിനും കാരണമാകും. ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണ ഉൽപ്പാദനത്തിന്റെ വിളവിലും പ്രകടനത്തിലും പരിശുദ്ധിയുടെ മെച്ചപ്പെടുത്തൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നുവെന്ന് പറയാം.

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ മെച്ചപ്പെട്ടുകൊണ്ടിരിക്കുന്നു, ഇപ്പോൾ അത് 5nm ൽ എത്തിയിരിക്കുന്നു, ഇത് മൂറിന്റെ നിയമത്തിന്റെ പരിധിയെ സമീപിക്കാൻ പോകുന്നു, ഇത് മനുഷ്യന്റെ മുടിയുടെ ഇരുപതിലൊന്ന് വ്യാസത്തിന് (ഏകദേശം 0.1 മില്ലിമീറ്റർ) തുല്യമാണ്. അതിനാൽ, സെമികണ്ടക്ടറുകൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തിന്റെ പരിശുദ്ധിക്ക് ഇത് ഉയർന്ന ആവശ്യകതകൾ മുന്നോട്ട് വയ്ക്കുന്നു.