ഇലക്ട്രോണിക് സ്‌പെഷ്യൽ ഗ്യാസിൻ്റെ ഗാർഹിക സബ്‌സ്റ്റിറ്റ്യൂഷൻ പ്ലാൻ സമഗ്രമായ രീതിയിൽ ത്വരിതപ്പെടുത്തിയിരിക്കുന്നു!

2018-ൽ, ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾക്കായുള്ള ആഗോള ഇലക്ട്രോണിക് വാതക വിപണി 4.512 ബില്യൺ യുഎസ് ഡോളറിലെത്തി, പ്രതിവർഷം 16% വർധന. അർദ്ധചാലകങ്ങൾക്കായുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് വ്യവസായത്തിൻ്റെ ഉയർന്ന വളർച്ചാ നിരക്കും വലിയ വിപണി വലിപ്പവും ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തിൻ്റെ ആഭ്യന്തര ബദൽ പദ്ധതിയെ ത്വരിതപ്പെടുത്തി!

എന്താണ് ഇലക്ട്രോൺ വാതകം?

അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, ലൈറ്റ്-എമിറ്റിംഗ് ഡയോഡുകൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ, മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന അടിസ്ഥാന ഉറവിട മെറ്റീരിയലാണ് ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ്, ഇത് വൃത്തിയാക്കൽ, എച്ചിംഗ്, ഫിലിം രൂപീകരണം, ഡോപ്പിംഗ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് വ്യവസായം, സോളാർ സെല്ലുകൾ, മൊബൈൽ കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻസ്, കാർ നാവിഗേഷൻ, കാർ ഓഡിയോ, വീഡിയോ സംവിധാനങ്ങൾ, എയ്‌റോസ്‌പേസ്, സൈനിക വ്യവസായം തുടങ്ങി നിരവധി മേഖലകൾ ഇലക്‌ട്രോണിക് വാതകത്തിൻ്റെ പ്രധാന പ്രയോഗ മേഖലകളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു.

ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തെ അതിൻ്റെ രാസഘടന അനുസരിച്ച് ഏഴ് വിഭാഗങ്ങളായി തിരിക്കാം: സിലിക്കൺ, ആർസെനിക്, ഫോസ്ഫറസ്, ബോറോൺ, മെറ്റൽ ഹൈഡ്രൈഡ്, ഹാലൈഡ്, മെറ്റൽ ആൽകോക്സൈഡ്. ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിലെ വിവിധ ആപ്ലിക്കേഷൻ രീതികൾ അനുസരിച്ച്, ഡോപ്പിംഗ് ഗ്യാസ്, എപ്പിറ്റാക്സി ഗ്യാസ്, അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ ഗ്യാസ്, ലൈറ്റ്-എമിറ്റിംഗ് ഡയോഡ് ഗ്യാസ്, എച്ചിംഗ് ഗ്യാസ്, കെമിക്കൽ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷൻ ഗ്യാസ്, ബാലൻസ് ഗ്യാസ് എന്നിങ്ങനെ വിഭജിക്കാം. അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ 110-ലധികം യൂണിറ്റ് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അവയിൽ 30-ലധികം സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

സാധാരണയായി, അർദ്ധചാലക ഉൽപാദന വ്യവസായം വാതകങ്ങളെ രണ്ട് തരങ്ങളായി വിഭജിക്കുന്നു: സാധാരണ വാതകങ്ങളും പ്രത്യേക വാതകങ്ങളും. അവയിൽ, സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകം ഒരു കേന്ദ്രീകൃത വിതരണത്തെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ N2, H2, O2, Ar, He മുതലായവ പോലുള്ള ധാരാളം വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രത്യേക വാതകം അർദ്ധചാലക ഉൽപാദന പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ചില രാസ വാതകങ്ങളെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. എക്സ്റ്റൻഷൻ, അയോൺ ഇഞ്ചക്ഷൻ, ബ്ലെൻഡിംഗ്, വാഷിംഗ്, മാസ്ക് രൂപീകരണം, ഇതിനെയാണ് നമ്മൾ ഇപ്പോൾ ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് എന്ന് വിളിക്കുന്നത്, ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, മുതലായവ.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ മുഴുവൻ ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയയിലും, ചിപ്പ് വളർച്ച മുതൽ അന്തിമ ഉപകരണ പാക്കേജിംഗ് വരെ, മിക്കവാറും എല്ലാ ലിങ്കുകളും ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തിൽ നിന്ന് വേർതിരിക്കാനാവാത്തതാണ്, കൂടാതെ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകത്തിൻ്റെ വൈവിധ്യവും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ആവശ്യകതകളും, അതിനാൽ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകത്തിന് അർദ്ധചാലക പദാർത്ഥങ്ങളുണ്ട്. "ഭക്ഷണം".

സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, ചൈനയുടെ പ്രധാന ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളായ അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഡിസ്പ്ലേ പാനലുകൾ എന്നിവ പുതിയ ഉൽപ്പാദന ശേഷിയിൽ വർധിച്ചിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ഇലക്ട്രോണിക് കെമിക്കൽ സാമഗ്രികളുടെ ഇറക്കുമതിക്ക് പകരം വയ്ക്കുന്നതിന് ശക്തമായ ഡിമാൻഡ് ഉണ്ട്. അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുടെ സ്ഥാനം കൂടുതൽ പ്രാധാന്യമർഹിക്കുന്നു. ഗാർഹിക ഇലക്ട്രോണിക് വാതക വ്യവസായം അതിവേഗ വളർച്ചയിലേക്ക് നയിക്കും.

ഇലക്ട്രോണിക് സ്‌പെഷ്യൽ ഗ്യാസിന് ശുദ്ധതയ്‌ക്ക് വളരെ ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുണ്ട്, കാരണം ശുദ്ധി ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുസൃതമല്ലെങ്കിൽ, ഇലക്‌ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തിലെ ജല നീരാവി, ഓക്‌സിജൻ തുടങ്ങിയ അശുദ്ധി ഗ്രൂപ്പുകൾ അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ എളുപ്പത്തിൽ ഓക്സൈഡ് ഫിലിം ഉണ്ടാക്കും. ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ സേവനജീവിതം, കൂടാതെ ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തിൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന മാലിന്യങ്ങളുടെ കണികകൾ അർദ്ധചാലക ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടുകൾക്കും സർക്യൂട്ട് കേടുപാടുകൾക്കും കാരണമാകും. ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണ ഉൽപ്പാദനത്തിൻ്റെ വിളവിലും പ്രകടനത്തിലും പരിശുദ്ധിയുടെ മെച്ചപ്പെടുത്തൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു എന്ന് പറയാം.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ മെച്ചപ്പെടുന്നു, ഇപ്പോൾ അത് 5nm ൽ എത്തിയിരിക്കുന്നു, ഇത് മൂറിൻ്റെ നിയമത്തിൻ്റെ പരിധിയെ സമീപിക്കാൻ പോകുന്നു, ഇത് മനുഷ്യൻ്റെ മുടിയുടെ വ്യാസത്തിൻ്റെ ഇരുപതിലൊന്നിന് തുല്യമാണ് ( ഏകദേശം 0.1 മില്ലിമീറ്റർ). അതിനാൽ, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകത്തിൻ്റെ പരിശുദ്ധി സംബന്ധിച്ച ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളും ഇത് മുന്നോട്ട് വയ്ക്കുന്നു.