ഏറ്റവും വലിയ ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് - നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് എൻഎഫ് 3

നമ്മുടെ രാജ്യത്തിന്റെ അർദ്ധചാലക വ്യവസായവും പാനൽ വ്യവസായവും ഉയർന്ന നിലവാരം പുലർത്തുന്നു. പാനലുകളുടെ ഉൽപാദന, പ്രോസസ്സിംഗ്, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ എന്നിവയിലെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതും വലുതുമായ ഒരു പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകമായി നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് ഒരു വിശാലമായ വിപണി ഇടമുണ്ട്.

സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഫ്ലൂറിൻ-സവിശേഷതകൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്ന പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നുസൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (എസ്എഫ് 6), ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (WF6),കാർബൺ ടെട്രാ സോറൈഡ് (CF4), ട്രിഫ്ലുറോമെത്തൻ (CHF3), നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് (എൻഎഫ് 3), ഹെക്സാഫ്ലൂറോയ്തൻ (C2F6), ഒക്ടാഫ്ലൂരോപ്നോപ്നോപ്രിയൻ (C3F8). ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ്-ഫ്ലൂറൈഡ് ഗ്യാസ് ഉയർന്ന energy ർജ്ജ രാസപത്രങ്ങൾക്കായുള്ള ഒരു ഫ്ലൂറൈൻ ഉറവിടമായി നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് (എൻഎഫ് 3) പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു. എച്ച് 2-ഒ 2, എഫ് 2 ർജ്ജം (ഏകദേശം 25%) ലേസർ വികിരണം വഴി റിലീസ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, അതിനാൽ കെമിക്കൽ ലേസർക്കിടയിലെ ഏറ്റവും മികച്ച ലേസറാണ് എച്ച്എഫ്-ഓഫ് ലേസറുകൾ.

മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിലെ മികച്ച പ്ലാസ്മ നേരം നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ്. സിലിക്കണിനും സിലിക്കൺ നൈട്രീഡിനെയും കാർബൺ ടെട്രായുടെ, സെലക്വിലിറ്റി, കാർബൺ ടെട്രായുടെ, സെലക്വിലിറ്റി എന്നിവയും കാർബൺ ടെട്രാഫ്രാറൈഡിലും ഓക്സിജന്റെയും മിശ്രിതമാണ്, കൂടാതെ ഉപരിതലത്തിൽ മലിനീകരണമില്ല. പ്രത്യേകിച്ചും 1.5 ന് താഴെയുള്ള കട്ടിയുള്ള ഒരു കനം ഉപയോഗിച്ച് നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡിന് വളരെ മികച്ചത് ബാധകമാണ്, നിധാന ക്ലീനിംഗ് ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റിൽ അവശേഷിക്കുന്നില്ല. നാനോടെക്നോളജി വികസിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെയും ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിന്റെ വലിയ വ്യാപാരിയോടെ, അതിന്റെ ആവശ്യം പകൽ വർദ്ധിക്കും.

ഒരു തരം ഫ്ലൂറൈൻ-സവിശേഷതകളുള്ള സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ്, വിപണിയിലെ ഏറ്റവും വലിയ ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് ഉൽപ്പന്നമാണ് നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് (എൻഎഫ് 3). Room ഷ്മാവിൽ ഇത് രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമാണ്, ഓക്സിജനേക്കാൾ സജീവമാണ്, ഫ്ലൂറൈനിനേക്കാൾ സ്ഥിരതയുള്ളതും ഉയർന്ന താപനിലയിൽ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എളുപ്പവുമാണ്.

പൈലസ്മ എച്ചിംഗ് ഗ്യാസ്, പ്രതികരണ ചേംബർ ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റായി നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, അർദ്ധചാലക ചിപ്പുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ നാരുകൾ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്ക് സെല്ലുകൾ മുതലായവ.

മറ്റ് ഫ്ലൂറൈൻ-ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡിന് ഫാസ്റ്റ് പ്രതികരണത്തിന്റെയും ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയുടെയും ഗുണങ്ങളുണ്ട്, പ്രത്യേകിച്ച് സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് പോലുള്ള ഒരു നിരക്കും ഉണ്ട്, ഇത് ഉപരിതലത്തിൽ മലിനമാകാതിരിക്കുകയാണ് പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ആവശ്യങ്ങൾ.