ഏറ്റവും വലിയ ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് - നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് NF3

നമ്മുടെ രാജ്യത്തെ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായവും പാനൽ വ്യവസായവും ഉയർന്ന തലത്തിലുള്ള അഭിവൃദ്ധി നിലനിർത്തുന്നു. പാനലുകളുടെയും സെമികണ്ടക്ടറുകളുടെയും ഉൽപാദനത്തിലും സംസ്കരണത്തിലും ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതും ഏറ്റവും വലിയ അളവിലുള്ളതുമായ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകമെന്ന നിലയിൽ നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡിന് വിശാലമായ വിപണി ഇടമുണ്ട്.

സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6), ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (WF6),കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് (CF4), ട്രൈഫ്ലൂറോമീഥേൻ (CHF3), നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറോറൈഡ് (NF3), ഹെക്സാഫ്ലൂറോഈഥേൻ (C2F6), ഒക്ടാഫ്ലൂറോപ്രൊപെയ്ൻ (C3F8). ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ്-ഫ്ലൂറൈഡ് വാതക ഉയർന്ന ഊർജ്ജ രാസ ലേസറുകൾക്ക് ഫ്ലൂറിൻ സ്രോതസ്സായി നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറോറൈഡ് (NF3) പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു. H2-O2 നും F2 നും ഇടയിലുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തന ഊർജ്ജത്തിന്റെ ഫലപ്രദമായ ഭാഗം (ഏകദേശം 25%) ലേസർ വികിരണം വഴി പുറത്തുവിടാൻ കഴിയും, അതിനാൽ കെമിക്കൽ ലേസറുകളിൽ ഏറ്റവും പ്രതീക്ഷ നൽകുന്ന ലേസറുകളാണ് HF-OF ലേസറുകൾ.

മൈക്രോഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് ഒരു മികച്ച പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് വാതകമാണ്. സിലിക്കണും സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡും എച്ചിംഗ് ചെയ്യുന്നതിന്, നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡിന് കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡിനേക്കാളും കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡിന്റെയും ഓക്സിജന്റെയും മിശ്രിതത്തേക്കാളും ഉയർന്ന എച്ചിംഗ് നിരക്കും സെലക്റ്റിവിറ്റിയും ഉണ്ട്, കൂടാതെ ഉപരിതലത്തിൽ മലിനീകരണവുമില്ല. പ്രത്യേകിച്ച് 1.5um-ൽ താഴെ കട്ടിയുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് വസ്തുക്കളുടെ എച്ചിംഗിൽ, നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡിന് വളരെ മികച്ച എച്ചിംഗ് നിരക്കും സെലക്റ്റിവിറ്റിയും ഉണ്ട്, എച്ചിംഗ് ചെയ്ത വസ്തുവിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ അവശിഷ്ടങ്ങളൊന്നും അവശേഷിപ്പിക്കില്ല, കൂടാതെ വളരെ നല്ല ഒരു ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റ് കൂടിയാണ്. നാനോ ടെക്നോളജിയുടെ വികസനവും ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിന്റെ വലിയ തോതിലുള്ള വികസനവും കൊണ്ട്, അതിന്റെ ആവശ്യം അനുദിനം വർദ്ധിക്കും.

ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ പ്രത്യേക വാതകത്തിന്റെ ഒരു തരം എന്ന നിലയിൽ, നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3) വിപണിയിലെ ഏറ്റവും വലിയ ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതക ഉൽപ്പന്നമാണ്. ഇത് മുറിയിലെ താപനിലയിൽ രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമാണ്, ഓക്സിജനേക്കാൾ കൂടുതൽ സജീവമാണ്, ഫ്ലൂറിനേക്കാൾ സ്ഥിരതയുള്ളതാണ്, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എളുപ്പമാണ്.

നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് പ്രധാനമായും പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഗ്യാസ് ആയും റിയാക്ഷൻ ചേംബർ ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, സെമികണ്ടക്ടർ ചിപ്പുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫൈബറുകൾ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് സെല്ലുകൾ തുടങ്ങിയ നിർമ്മാണ മേഖലകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.

മറ്റ് ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡിന് വേഗത്തിലുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിന്റെയും ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയുടെയും ഗുണങ്ങളുണ്ട്, പ്രത്യേകിച്ച് സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് പോലുള്ള സിലിക്കൺ അടങ്ങിയ വസ്തുക്കളുടെ എച്ചിംഗിൽ, ഇതിന് ഉയർന്ന എച്ചിംഗ് നിരക്കും സെലക്റ്റിവിറ്റിയും ഉണ്ട്, എച്ചിംഗ് ചെയ്ത വസ്തുവിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ അവശിഷ്ടങ്ങൾ അവശേഷിപ്പിക്കില്ല, കൂടാതെ വളരെ നല്ല ഒരു ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റ് കൂടിയാണ്, കൂടാതെ ഇത് ഉപരിതലത്തെ മലിനമാക്കാത്തതും പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയുന്നതുമാണ്.