ഏറ്റവും കൂടുതൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകം - നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ്

സാധാരണ ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നുസൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6), ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (WF6),കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് (CF4), ട്രൈഫ്ലൂറോമെഥെയ്ൻ (CHF3), നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3), ഹെക്സാഫ്ലൂറോഎഥെയ്ൻ (C2F6), ഒക്ടാഫ്ലൂറോപ്രോപെയ്ൻ (C3F8).

നാനോ ടെക്‌നോളജിയുടെ വികസനവും ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൻ്റെ വലിയ തോതിലുള്ള വികസനവും, അതിൻ്റെ ആവശ്യകത അനുദിനം വർദ്ധിക്കും. പാനലുകളുടെയും അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെയും ഉൽപാദനത്തിലും സംസ്കരണത്തിലും ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതും ഏറ്റവും കൂടുതൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതുമായ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകമെന്ന നിലയിൽ നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡിന് വിശാലമായ വിപണി ഇടമുണ്ട്.

ഒരു തരം ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ പ്രത്യേക വാതകംനൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3)ഏറ്റവും വലിയ വിപണി ശേഷിയുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതക ഉൽപ്പന്നമാണ്. ഇത് മുറിയിലെ ഊഷ്മാവിൽ രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമാണ്, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ഓക്സിജനേക്കാൾ കൂടുതൽ സജീവമാണ്, ഫ്ലൂറിനേക്കാൾ സ്ഥിരതയുള്ളതും കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എളുപ്പവുമാണ്. നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്‌ലൂറൈഡ് പ്രധാനമായും പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് വാതകമായും റിയാക്ഷൻ ചേമ്പർ ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക ചിപ്പുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫൈബറുകൾ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് സെല്ലുകൾ മുതലായവയുടെ നിർമ്മാണ മേഖലകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.

മറ്റ് ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ,നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ്വേഗത്തിലുള്ള പ്രതികരണത്തിൻ്റെയും ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയുടെയും ഗുണങ്ങളുണ്ട്. പ്രത്യേകിച്ച് സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് പോലെയുള്ള സിലിക്കൺ അടങ്ങിയ വസ്തുക്കളുടെ കൊത്തുപണിയിൽ, ഇതിന് ഉയർന്ന എച്ചിംഗ് നിരക്കും സെലക്റ്റിവിറ്റിയും ഉണ്ട്, കൊത്തിയെടുത്ത വസ്തുവിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ അവശിഷ്ടങ്ങൾ അവശേഷിക്കുന്നില്ല. ഇത് വളരെ നല്ല ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റ് കൂടിയാണ്, കൂടാതെ ഉപരിതലത്തിൽ മലിനീകരണം ഇല്ല, ഇത് പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയും.