ഏറ്റവും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് - നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ്

സാധാരണ ഫ്ലൂറൈൻ-അടങ്ങിയ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നുസൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (എസ്എഫ് 6), ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (WF6),കാർബൺ ടെട്രാ സോറൈഡ് (CF4), ട്രിഫ്ലുറോമെത്തൻ (CHF3), നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് (എൻഎഫ് 3), ഹെക്സാഫ്ലൂറോയ്തൻ (C2F6), ഒക്ടാഫ്ലൂരോപ്നോപ്നോപ്രിയൻ (C3F8).

നാനോടെക്നോളജി വികസിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെയും ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിന്റെ വലിയ വ്യാപാരിയോടെ, അതിന്റെ ആവശ്യം പകൽ വർദ്ധിക്കും. പാനലുകളുടെ ഉൽപാദനത്തിലും സംസ്കരണത്തിലും ഒഴിച്ചുകൂടാവുന്നതും വലുതുമായ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകമായി നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് ഒരു വിശാലമായ വിപണി ഇടം ഉണ്ട്.

പ്രത്യേക വാതകം അടങ്ങിയ ഫ്ലൂറൈൻ എന്ന നിലയിൽ,നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് (NF3)ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതക ഉൽപ്പന്നമാണോ ഏറ്റവും കൂടുതൽ വിപണന ശേഷിയുള്ളത്. Room ഷ്മാവിൽ ഇത് രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമാണ്, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ഓക്സിജനുത്തേക്കാളും ഫ്ലൂറിൻ എന്നതിനേക്കാൾ സജീവമാണ്, ഒപ്പം കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ എളുപ്പവുമാണ്. നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ഗ്യാസ്, ഒരു പ്രതികരണ ചേംബർ ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റ് എന്നിവയാണ്, കൂടാതെ അർദ്ധചാലക ചിപ്സ്, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ നാരുകൾ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്ക് സെല്ലുകൾ മുതലായവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.

മറ്റ് ഫ്ലൂറൈൻ-ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ,നൈട്രജൻ ട്രിഫ്ലൂറൈഡ്വേഗത്തിലുള്ള പ്രതികരണത്തിന്റെയും ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയുടെയും ഗുണങ്ങളുണ്ട്. പ്രത്യേകിച്ചും സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് പോലുള്ള സിലിക്കൺ അടങ്ങിയ വസ്തുക്കൾ എടുത്തു, ഇതിന് ഉയർന്ന ദീർഘവൃത്താകൃതിയിലുള്ള നിരക്കും സെലക്ടീവിലും ഉണ്ട്, ഇത് പഴയ വസ്തുവിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ അവശിഷ്ടങ്ങളൊന്നും വിടുന്നു. ഇത് വളരെ നല്ല ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റാണ്, മാത്രമല്ല ഉപരിതലത്തിൽ മലിനീകരണവുമില്ല, അത് പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയും.