സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് എച്ചിംഗിലെ സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡിന്റെ വേഷം

മികച്ച ഇൻസുലേറ്റിംഗ് പ്രോപ്പർട്ടികളുള്ള ഒരു വാതകമാണ് സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ്, ഇത് പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് കെടുപ്പിംഗ്, ട്രാൻസ്ഫോർമർ തുടങ്ങിയവ. ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് ഉയർന്ന-പരിശുദ്ധി സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് ഒരു അനുയോജ്യമായ ഇലക്ട്രോണിക് ഓഹ്ലൂറൈഡ് ആണ്, ഇത് മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ് ടെക്നോളജി മേഖലയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇന്ന്, നിയു നാശനഷ്ട സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് എഡിറ്റർ യൂയുയൂ സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് കൊത്തിയെടുത്തതും വിവിധ പാരാമീറ്ററുകളുടെ സ്വാധീനവും അവതരിപ്പിക്കും.

പ്ലാസ്മ പവർ മാറ്റുന്ന എസ്എഫ് 6 പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് സിംഗ് എക്സ് പ്രോസസ്സ് ഞങ്ങൾ ചർച്ച ചെയ്യുകയും പ്ലാസ്മ റേഡിയേഷൻ ഉപയോഗിക്കുകയും ചെയ്യുന്നതും, പ്ലാസ്മ റേഡിയേഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നതും sf66 / അവൻ / o2 പ്ലാസ്മ, എസ്എഫ് 6 എന്നിവയിലെ ഏകാഗ്രത മാറ്റങ്ങൾ വിശകലനം ചെയ്യുന്നു അസംതൃപ്ത നിരക്ക്, സിന്നിംഗ് ബാലറ്റും പ്ലാസ്മ ഇനങ്ങളുടെ ഏകാഗ്രതയും തമ്മിലുള്ള ബന്ധം പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നു.

പ്ലാസ്മ ശക്തി വർദ്ധിക്കുമ്പോൾ ബാലൻ നിരക്ക് വർദ്ധിക്കുന്നുവെന്ന് പഠനങ്ങൾ കണ്ടെത്തിയിട്ടുണ്ട്; പ്ലാസ്മയിലെ SF6- ന്റെ ഒഴുക്ക് നിരക്ക് വർദ്ധിക്കുകയാണെങ്കിൽ, എഫ് ആറ്റം ഏകാന്തത വർദ്ധിക്കുകയും ദീർഘകുന്ന നിരക്കിലൂടെ പോസിറ്റീവ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. കൂടാതെ, നിശ്ചിത മൊത്തം ഫ്ലോ റേറ്റ് അനുസരിച്ച് കനിക്യാസ് ഗ്യാസ് O2 ചേർത്തതിനുശേഷം, വ്യത്യസ്ത O2 / SF6 ഫ്ലോ അനുപാതങ്ങൾ ഇത് ഉണ്ടാകും, ഇത് മൂന്ന് ഭാഗങ്ങളായി വിഭജിക്കും, ഇത് sf6- ന്റെ അനിവാഹിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ O2 O2 ചേർത്തതിനേക്കാൾ ഉയർന്നതാണ്. . എന്നാൽ അതേ സമയം, പ്ലാസ്മയിലെ ഓ ആറ്റങ്ങൾ വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, സിയോക്സ് അല്ലെങ്കിൽ സിനോക്സ് അല്ലെങ്കിൽ (yx) സിയോക്സ് അല്ലെങ്കിൽ സിൻസോ (yx) രൂപപ്പെടുന്നത് എളുപ്പമാണ്, കൂടാതെ ആറ്റങ്ങൾ വർദ്ധിക്കുന്നു, കൂടുതൽ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്, കൂടുതൽ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്. അതിനാൽ, O2 / SF6 അനുപാതം 1 ന് അടുത്തായി 1 വയസുള്ളപ്പോൾ കുഷ്ഠം കുറയ്ക്കാൻ തുടങ്ങുന്നു (3) O2 / SF6 അനുപാതം ഒന്നിൽ കൂടുതലാകുമ്പോൾ, കൊതിക്കുന്ന നിരക്ക് കുറയുന്നു. O2 ലെ വലിയ വർധന കാരണം, എഫ് ആറ്റങ്ങൾ o2, രൂപത്തിൽ കൂട്ടിയിടിച്ച്, അത് എഫ് 2, രൂപത്തിൽ നിന്ന് കൂട്ടിയിടിക്കുന്നു, അത് എഫ് ആറ്റങ്ങളുടെ ഏകാഗ്രത കുറയ്ക്കുന്നു, അതിന്റെ ഫലമായി എറ്റിംഗ് റേറ്റിൽ കുറയുന്നു. O2 ചേർക്കുമ്പോൾ, O2 ചേർക്കുമ്പോൾ, O2 / SF6 ന്റെ ഫ്ലോ അനുപാതം 0.2, 0.8 എന്നിവയ്ക്കിടയിലാണ്, ഏറ്റവും മികച്ചത് നേടാൻ കഴിയും.