ഇലക്ട്രോണിക്പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾപ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ ഒരു പ്രധാന ശാഖയാണ്. അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദനത്തിൻ്റെ മിക്കവാറും എല്ലാ കണ്ണികളിലേക്കും അവ തുളച്ചുകയറുന്നു, കൂടാതെ അൾട്രാ ലാർജ് സ്കെയിൽ ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ ഉപകരണങ്ങൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ തുടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വ്യവസായങ്ങളുടെ ഉൽപാദനത്തിന് ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളാണ്.

അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു. നിലവിൽ, ആഗോള ഇലക്ട്രോണിക് വാതക വിപണിയിൽ, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ മൊത്തം 30% വരും. ഇലക്ട്രോണിക് ഇൻഫർമേഷൻ മെറ്റീരിയലുകളുടെ മേഖലയിൽ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുടെ ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ് ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ. അവ പ്രധാനമായും ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റുകളായും എച്ചിംഗ് ഏജൻ്റുകളായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഡോപാൻ്റുകളായും ഫിലിം രൂപീകരണ സാമഗ്രികളായും ഉപയോഗിക്കാം. ഈ ലേഖനത്തിൽ, സാധാരണ ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ മനസിലാക്കാൻ രചയിതാവ് നിങ്ങളെ കൊണ്ടുപോകും.

ഇനിപ്പറയുന്നവ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങളാണ്

നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3): നിക്ഷേപങ്ങൾ വൃത്തിയാക്കാനും നീക്കം ചെയ്യാനും ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകം, സാധാരണയായി പ്രതികരണ അറകളും ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതലവും വൃത്തിയാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6): ഓക്സൈഡ് നിക്ഷേപ പ്രക്രിയകളിലും ഇൻസുലേറ്റിംഗ് മീഡിയ നിറയ്ക്കുന്നതിനുള്ള ഇൻസുലേറ്റിംഗ് വാതകമായും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ഫ്ലൂറിനേറ്റിംഗ് ഏജൻ്റ്.

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (HF): സിലിക്കൺ പ്രതലത്തിൽ നിന്ന് ഓക്സൈഡുകൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനും സിലിക്കണും മറ്റ് വസ്തുക്കളും കൊത്തിവയ്ക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു എച്ചാൻ്റായും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

നൈട്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (NF): സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് (SiN), അലുമിനിയം നൈട്രൈഡ് (AlN) തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കൾ കൊത്തിവയ്ക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ട്രൈഫ്ലൂറോമീഥെയ്ൻ (CHF3) കൂടാതെടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥെയ്ൻ (CF4): സിലിക്കൺ ഫ്ലൂറൈഡ്, അലുമിനിയം ഫ്ലൂറൈഡ് തുടങ്ങിയ ഫ്ലൂറൈഡ് പദാർത്ഥങ്ങൾ കൊത്തിവയ്ക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

എന്നിരുന്നാലും, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾക്ക് വിഷാംശം, നാശം, ജ്വലനം എന്നിവ ഉൾപ്പെടെ ചില അപകടങ്ങളുണ്ട്.

വിഷാംശം

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (HF) പോലെയുള്ള ചില ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ വിഷാംശമുള്ളവയാണ്, ഇവയുടെ നീരാവി ചർമ്മത്തെയും ശ്വാസകോശ ലഘുലേഖയെയും വളരെയധികം പ്രകോപിപ്പിക്കുകയും മനുഷ്യൻ്റെ ആരോഗ്യത്തിന് ഹാനികരവുമാണ്.

നാശനഷ്ടം

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡും ചില ഫ്ലൂറൈഡുകളും വളരെയധികം നശിപ്പിക്കുന്നവയാണ്, ഇത് ചർമ്മത്തിനും കണ്ണുകൾക്കും ശ്വാസകോശ ലഘുലേഖയ്ക്കും ഗുരുതരമായ നാശമുണ്ടാക്കും.

ജ്വലനം

ചില ഫ്ലൂറൈഡുകൾ ജ്വലിക്കുന്നതും വായുവിലെ ഓക്സിജനുമായോ വെള്ളവുമായോ പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് തീവ്രമായ ചൂടും വിഷവാതകങ്ങളും പുറത്തുവിടുന്നു, ഇത് തീയോ സ്ഫോടനമോ ഉണ്ടാക്കാം.

ഉയർന്ന മർദ്ദം അപകടം

ചില ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് വാതകങ്ങൾ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിൽ സ്ഫോടനാത്മകമാണ്, ഉപയോഗിക്കുമ്പോഴും സൂക്ഷിക്കുമ്പോഴും പ്രത്യേക ശ്രദ്ധ ആവശ്യമാണ്.

പരിസ്ഥിതിയിൽ ആഘാതം

ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന അന്തരീക്ഷ ആയുസ്സും GWP മൂല്യങ്ങളുമുണ്ട്, അത് അന്തരീക്ഷ ഓസോൺ പാളിയിൽ വിനാശകരമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തുകയും ആഗോളതാപനത്തിനും പരിസ്ഥിതി മലിനീകരണത്തിനും കാരണമായേക്കാം.

ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് പോലുള്ള ഉയർന്നുവരുന്ന മേഖലകളിൽ വാതകങ്ങളുടെ പ്രയോഗം ആഴത്തിൽ തുടരുന്നു, ഇത് വ്യാവസായിക വാതകങ്ങൾക്ക് വലിയ അളവിൽ പുതിയ ഡിമാൻഡ് കൊണ്ടുവരുന്നു. അടുത്ത ഏതാനും വർഷങ്ങളിൽ ചൈനയിലെ മെയിൻലാൻഡ് അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഡിസ്പ്ലേ പാനലുകൾ തുടങ്ങിയ പ്രധാന ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെ വലിയ അളവിലുള്ള പുതിയ ഉൽപ്പാദന ശേഷിയുടെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ, ഇലക്ട്രോണിക് കെമിക്കൽ സാമഗ്രികൾ ഇറക്കുമതി ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ശക്തമായ ഡിമാൻഡ്, ആഭ്യന്തര ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ് വ്യവസായം ആരംഭിക്കും. ഉയർന്ന വളർച്ചാ നിരക്ക്.