ഇലക്ട്രോണിക്പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾപ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ ഒരു പ്രധാന ശാഖയാണ് അവ. സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദനത്തിന്റെ മിക്കവാറും എല്ലാ ലിങ്കുകളിലേക്കും അവ തുളച്ചുകയറുന്നു, കൂടാതെ അൾട്രാ-ലാർജ്-സ്കെയിൽ ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ ഉപകരണങ്ങൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ തുടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വ്യവസായങ്ങളുടെ ഉൽ‌പാദനത്തിന് ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളാണ്.

സെമികണ്ടക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു. നിലവിൽ, ആഗോള ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ് വിപണിയിൽ, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളാണ് ആകെയുള്ളതിന്റെ ഏകദേശം 30%. ഇലക്ട്രോണിക് ഇൻഫർമേഷൻ മെറ്റീരിയലുകളുടെ മേഖലയിലെ പ്രത്യേക ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങളുടെ ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ് ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ. അവ പ്രധാനമായും ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റുമാരായും എച്ചിംഗ് ഏജന്റുമാരായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഡോപന്റുകൾ, ഫിലിം-ഫോമിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ മുതലായവയായും ഉപയോഗിക്കാം. ഈ ലേഖനത്തിൽ, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ സാധാരണയായി മനസ്സിലാക്കാൻ രചയിതാവ് നിങ്ങളെ കൊണ്ടുപോകും.

താഴെ പറയുന്നവയാണ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ

നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3): വൃത്തിയാക്കുന്നതിനും നിക്ഷേപങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു വാതകം, സാധാരണയായി പ്രതിപ്രവർത്തന അറകളും ഉപകരണ പ്രതലങ്ങളും വൃത്തിയാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6): ഓക്സൈഡ് നിക്ഷേപ പ്രക്രിയകളിലും ഇൻസുലേറ്റിംഗ് മീഡിയ നിറയ്ക്കുന്നതിനുള്ള ഇൻസുലേറ്റിംഗ് വാതകമായും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ഫ്ലൂറിനേറ്റിംഗ് ഏജന്റ്.

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (HF): സിലിക്കൺ പ്രതലത്തിൽ നിന്ന് ഓക്സൈഡുകൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനും സിലിക്കണും മറ്റ് വസ്തുക്കളും കൊത്തിവയ്ക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു എച്ചന്റായും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

നൈട്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (NF): സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് (SiN), അലൂമിനിയം നൈട്രൈഡ് (AlN) തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കൾ കൊത്തിവയ്ക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ട്രൈഫ്ലൂറോമീഥേൻ (CHF3) ഉംടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ (CF4): സിലിക്കൺ ഫ്ലൂറൈഡ്, അലുമിനിയം ഫ്ലൂറൈഡ് തുടങ്ങിയ ഫ്ലൂറൈഡ് വസ്തുക്കൾ കൊത്തിവയ്ക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

എന്നിരുന്നാലും, ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾക്ക് വിഷാംശം, ദ്രവീകരണ സ്വഭാവം, കത്തുന്ന സ്വഭാവം എന്നിവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ചില അപകടങ്ങളുണ്ട്.

വിഷാംശം

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (HF) പോലുള്ള ചില ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ വിഷാംശമുള്ളവയാണ്, അവയുടെ നീരാവി ചർമ്മത്തെയും ശ്വസനവ്യവസ്ഥയെയും വളരെയധികം പ്രകോപിപ്പിക്കുകയും മനുഷ്യന്റെ ആരോഗ്യത്തിന് ഹാനികരവുമാണ്.

തുരുമ്പെടുക്കൽ

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡും ചില ഫ്ലൂറൈഡുകളും വളരെ ദ്രവകാരികളാണ്, മാത്രമല്ല ചർമ്മത്തിനും കണ്ണുകൾക്കും ശ്വസനവ്യവസ്ഥയ്ക്കും ഗുരുതരമായ നാശമുണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും.

ജ്വലനക്ഷമത

ചില ഫ്ലൂറൈഡുകൾ കത്തുന്നവയാണ്, അവ വായുവിലെ ഓക്സിജനുമായോ വെള്ളവുമായോ പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് തീവ്രമായ ചൂടും വിഷവാതകങ്ങളും പുറത്തുവിടുന്നു, ഇത് തീയോ സ്ഫോടനമോ ഉണ്ടാക്കാൻ സാധ്യതയുണ്ട്.

ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലുള്ള അപകടം

ചില ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് വാതകങ്ങൾ ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിൽ സ്ഫോടനാത്മകമാണ്, ഉപയോഗിക്കുമ്പോഴും സൂക്ഷിക്കുമ്പോഴും പ്രത്യേക ശ്രദ്ധ ആവശ്യമാണ്.

പരിസ്ഥിതിയിൽ ആഘാതം

ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന അന്തരീക്ഷ ആയുസ്സും GWP മൂല്യങ്ങളുമുണ്ട്, ഇത് അന്തരീക്ഷ ഓസോൺ പാളിയിൽ വിനാശകരമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തുകയും ആഗോളതാപനത്തിനും പരിസ്ഥിതി മലിനീകരണത്തിനും കാരണമാവുകയും ചെയ്യും.

ഇലക്ട്രോണിക്സ് പോലുള്ള വളർന്നുവരുന്ന മേഖലകളിൽ വാതകങ്ങളുടെ പ്രയോഗം കൂടുതൽ ആഴത്തിൽ തുടരുകയാണ്, ഇത് വ്യാവസായിക വാതകങ്ങൾക്ക് വലിയ അളവിൽ പുതിയ ഡിമാൻഡ് കൊണ്ടുവരുന്നു. അടുത്ത കുറച്ച് വർഷങ്ങളിൽ ചൈനയിലെ പ്രധാന ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളായ സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, ഡിസ്പ്ലേ പാനലുകൾ എന്നിവയുടെ വലിയ തോതിലുള്ള പുതിയ ഉൽപ്പാദന ശേഷിയുടെയും ഇലക്ട്രോണിക് കെമിക്കൽ വസ്തുക്കളുടെ ഇറക്കുമതിക്ക് പകരം വയ്ക്കുന്നതിനുള്ള ശക്തമായ ഡിമാൻഡിന്റെയും അടിസ്ഥാനത്തിൽ, ആഭ്യന്തര ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്യാസ് വ്യവസായം ഉയർന്ന വളർച്ചാ നിരക്കിന് കാരണമാകും.