ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (WF6) ഒരു CVD പ്രക്രിയയിലൂടെ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും, ലോഹ ഇന്റർകണക്ഷൻ ട്രെഞ്ചുകൾ നിറയ്ക്കുകയും പാളികൾക്കിടയിൽ ലോഹ പരസ്പരബന്ധം ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ആദ്യം നമുക്ക് പ്ലാസ്മയെക്കുറിച്ച് സംസാരിക്കാം.പ്രധാനമായും സ്വതന്ത്ര ഇലക്ട്രോണുകളും ചാർജ്ജ് ചെയ്ത അയോണുകളും ചേർന്ന ദ്രവ്യത്തിന്റെ ഒരു രൂപമാണ് പ്ലാസ്മ.ഇത് പ്രപഞ്ചത്തിൽ വ്യാപകമായി നിലനിൽക്കുന്നു, ഇത് പലപ്പോഴും ദ്രവ്യത്തിന്റെ നാലാമത്തെ അവസ്ഥയായി കണക്കാക്കപ്പെടുന്നു.ഇതിനെ പ്ലാസ്മ അവസ്ഥ എന്ന് വിളിക്കുന്നു, "പ്ലാസ്മ" എന്നും വിളിക്കുന്നു.പ്ലാസ്മയ്ക്ക് ഉയർന്ന വൈദ്യുതചാലകതയുണ്ട്, കൂടാതെ വൈദ്യുതകാന്തിക മണ്ഡലവുമായി ശക്തമായ കപ്ലിംഗ് ഫലവുമുണ്ട്.ഇലക്ട്രോണുകൾ, അയോണുകൾ, ഫ്രീ റാഡിക്കലുകൾ, ന്യൂട്രൽ കണികകൾ, ഫോട്ടോണുകൾ എന്നിവ അടങ്ങിയ ഭാഗികമായി അയോണൈസ്ഡ് വാതകമാണിത്.ശാരീരികമായും രാസപരമായും സജീവമായ കണങ്ങൾ അടങ്ങിയ വൈദ്യുത നിഷ്പക്ഷ മിശ്രിതമാണ് പ്ലാസ്മ.
നേരിട്ടുള്ള വിശദീകരണം, ഉയർന്ന ഊർജ്ജത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിൽ, തന്മാത്ര വാൻ ഡെർ വാൽസ് ഫോഴ്സ്, കെമിക്കൽ ബോണ്ട് ഫോഴ്സ്, കൂലോംബ് ഫോഴ്സ് എന്നിവയെ മറികടക്കുകയും മൊത്തത്തിൽ ഒരു ന്യൂട്രൽ ഇലക്ട്രിസിറ്റി അവതരിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും.അതേ സമയം, പുറത്തുനിന്നുള്ള ഉയർന്ന ഊർജ്ജം മുകളിൽ പറഞ്ഞ മൂന്ന് ശക്തികളെയും മറികടക്കുന്നു.ഫംഗ്ഷൻ, ഇലക്ട്രോണുകൾ, അയോണുകൾ എന്നിവ ഒരു സ്വതന്ത്ര അവസ്ഥയെ അവതരിപ്പിക്കുന്നു, അത് അർദ്ധചാലക എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയ, CVD പ്രക്രിയ, PVD, IMP പ്രോസസ് പോലെയുള്ള കാന്തികക്ഷേത്രത്തിന്റെ മോഡുലേഷനിൽ കൃത്രിമമായി ഉപയോഗിക്കാവുന്നതാണ്.
ഉയർന്ന ഊർജ്ജം എന്താണ്?സിദ്ധാന്തത്തിൽ, ഉയർന്ന താപനിലയും ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി RF ഉം ഉപയോഗിക്കാം.പൊതുവായി പറഞ്ഞാൽ, ഉയർന്ന താപനില കൈവരിക്കുന്നത് മിക്കവാറും അസാധ്യമാണ്.ഈ താപനില ആവശ്യകത വളരെ കൂടുതലാണ്, ഇത് സൂര്യന്റെ താപനിലയോട് അടുത്തായിരിക്കാം.പ്രക്രിയയിൽ ഇത് നേടുന്നത് അടിസ്ഥാനപരമായി അസാധ്യമാണ്.അതിനാൽ, വ്യവസായം സാധാരണയായി അത് നേടുന്നതിന് ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി RF ഉപയോഗിക്കുന്നു.പ്ലാസ്മ RF 13MHz+ വരെ എത്താം.
ടങ്സ്റ്റൺ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് ഒരു വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിൽ പ്ലാസ്മൈസ് ചെയ്യുന്നു, തുടർന്ന് ഒരു കാന്തികക്ഷേത്രത്താൽ നീരാവി നിക്ഷേപിക്കുന്നു.W ആറ്റങ്ങൾ ശീതകാല Goose തൂവലുകൾക്ക് സമാനമാണ്, ഗുരുത്വാകർഷണത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിൽ നിലത്തു വീഴുന്നു.സാവധാനത്തിൽ, W ആറ്റങ്ങൾ ദ്വാരങ്ങളിലൂടെ നിക്ഷേപിക്കുകയും അവസാനം ദ്വാരങ്ങളിലൂടെ പൂർണ്ണമായി നിറയ്ക്കുകയും ലോഹ പരസ്പരബന്ധം ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.ദ്വാരങ്ങളിലൂടെയുള്ള W ആറ്റങ്ങളെ നിക്ഷേപിക്കുന്നതിനു പുറമേ, അവ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിലും നിക്ഷേപിക്കുമോ?അതെ തീർച്ചയായും.പൊതുവായി പറഞ്ഞാൽ, നിങ്ങൾക്ക് W-CMP പ്രോസസ്സ് ഉപയോഗിക്കാം, അതിനെയാണ് ഞങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള മെക്കാനിക്കൽ ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയ എന്ന് വിളിക്കുന്നത്.കനത്ത മഞ്ഞുവീഴ്ചയ്ക്ക് ശേഷം ചൂൽ ഉപയോഗിച്ച് തറ തുടയ്ക്കുന്നതിന് സമാനമാണ് ഇത്.നിലത്തെ മഞ്ഞ് തൂത്തുവാരുന്നു, പക്ഷേ നിലത്തെ ദ്വാരത്തിലെ മഞ്ഞ് നിലനിൽക്കും.താഴേക്ക്, ഏകദേശം സമാനമാണ്.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-24-2021
